第1期施設に関するトラブル

2013年2月1日

洗浄液の漏洩

2010年2月19日

洗浄液の漏洩

2007年12月18日

溶剤の漏洩

2007年7月25日

グローブボックス内での火花の発生

2006年9月30日

天井材の一部落下